Stroj za jedkanje z ionskim žarkom
Opis
Jedkanje z ionskim žarkom (IBE) je tehnika tankega filma, ki uporablja vir ionov za izvajanje postopkov odstranjevanja materiala na podlagi. IBE je vrsta razprševanja z ionskim žarkom in ne glede na to, ali se uporablja za predhodno čiščenje ali jedkanje z vzorci, pomaga zagotoviti odličen oprijem in natančno oblikovanje 3D struktur.
Ta stroj je zelo kolimirana, visoko natančna in zelo zanesljiva rešitev opreme za fizično jedkanje v nanometru.
Podpira natančnost širine nanožic in večvrstno jedkanje vzorcev z visokim razmerjem stranic, ki ni omejeno z vrsto materiala, visoko kolimacijsko jedkanje, visoko hitrost jedkanja in dobro ponovljivost.
Aplikacija
Planarne rešetke, posebne rešetke z veliko površino, komponente za uklon DOE, naprave MEMS, tankoslojna vezja, fotonske integrirane naprave
Lastnosti
- Ionski vir osrednje komponente je neodvisno nadzorovan.
- Združljiv z IBE in RIBE, z izbirnimi načini dela.
- Primerno za visoko natančno jedkanje različnih materialov, z velikostjo širine črte do 20nm.
- Dobra procesna zmogljivost in zanesljivost proizvodnje.
- Dno in stranske stene SiO/Si rešetke so ravne.
- Omogoča neodvisen nadzor energije žarka in ionskega toka.
- Postopek poteka v nizkotlačnem delovnem okolju.
- Proizvaja nadzorovano anizotropno jedkanje.
- Zagotavlja sredstva za jedkanje vseh znanih materialov.
- Omogoča nadzor poševnega profila zahvaljujoč spremenljivemu kotu jedkanega žarka glede na površino vzorca/maske.
- Omogoča nadzor profila/stranske stene in oblikovanje funkcij.
- Zmogljivosti reaktivnega plina omogočajo višje stopnje jedkanja in višjo selektivnost jedkanja različnih materialov prek reaktivnih vrst.
Tehnični parametri
|
Velikost substrata, ki ga je mogoče jedkati |
6 palcev |
|
Enotnost jedkanja |
±5% |
|
Material za jedkanje |
SiO2, SiNx, safir, diamant, litijev niobat, kovinski oksid itd. |
|
Razpoložljivi plini |
N2, O2, Ar, plin na osnovi ali mešanica fluora |
|
Vir RF ionov |
FR moč: 1KW, energija ionskega žarka: 1000 eV, tok ionskega žarka: 1000 mA |
Priljubljena oznake: stroj za jedkanje z ionskim žarkom, Kitajska proizvajalci strojev za jedkanje z ionskim žarkom, tovarna
